キーワード:結晶

化学・生命系学科 化学応用教育プログラム


反応装置工学研究室

キーワード:
化学工学、反応工学、表面反応、結晶、電子材料
教授
羽深 等HABUKA, Hitoshi
専門分野
固体表面反応、結晶、移動現象
主な担当授業科目
  • 基礎化学工学 (1年)、
  • 無機化学I (1年)、
  • 化学生命基礎演習 (1年)、
  • 反応工学 (3年)、
  • 化学応用実験II (3年)
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物質の表面を創る

化学反応と流体で、物質の理想的表面を創る方法を探究半導体などの薄膜形成・エッチング・洗浄など方法を創造。

  • Mechanism of Silicon Carbide Film Deposition at Room Temperature Using Monomethylsilane Gas, J. Electrochem. Soc., 158 (4), H352-H357 (2011).(共著)
  • Room Temperature Process for Chemical Vapor Deposition of Silicon Carbide Thin Film Using Monomethylsilane Gas, Surf. Coat. Tech., 206, 1503_1506, (2011). (共著)

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