キーワード:電子材料

化学・生命系学科 化学教育プログラム


材料量子化学研究室

キーワード:
量子化学、電子材料、表面化学、密度汎関数法
准教授
佐藤 浩太SATO, Kota
専門分野
量子化学、電子材料、プラズマ
主な担当授業科目
  • 無機化学I (1年)、
  • 構造化学 (3年)、
  • 化学コース実験I (3年)
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量子化学を用いた反応の設計と解析

コンピューターを用いた量子化学に基づく理論計算で、種々の反応機構の解明と反応の予測を行う。

  • Ab Initio Molecular Orbital Study on Acceleration Mechanism  of Silane Plasma Chemical Vapor Deposition by Diborane Appl. Phys. Express 4, 056202 (2011)
  • ベーシクマスター物理化学(オーム社)2012年(共著)

化学・生命系学科 化学応用教育プログラム


反応装置工学研究室

キーワード:
化学工学、反応工学、表面反応、結晶、電子材料
教授
羽深 等HABUKA, Hitoshi
専門分野
固体表面反応、結晶、移動現象
主な担当授業科目
  • 基礎化学工学 (1年)、
  • 無機化学I (1年)、
  • 化学生命基礎演習 (1年)、
  • 反応工学 (3年)、
  • 化学応用実験II (3年)
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物質の表面を創る

化学反応と流体で、物質の理想的表面を創る方法を探究半導体などの薄膜形成・エッチング・洗浄など方法を創造。

  • Mechanism of Silicon Carbide Film Deposition at Room Temperature Using Monomethylsilane Gas, J. Electrochem. Soc., 158 (4), H352-H357 (2011).(共著)
  • Room Temperature Process for Chemical Vapor Deposition of Silicon Carbide Thin Film Using Monomethylsilane Gas, Surf. Coat. Tech., 206, 1503_1506, (2011). (共著)

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